上海电机学院李志松教授应邀到我校做学术报告

作者:谢金鹏时间:2026/09/08 16:08:11点击数:

      9月3日下午,由科技处主办、伟德国际bv1946协办的学术讲座在4号楼4216教室顺利举行。上海电机学院李志松教授应邀作题为《集成电路光学量测装备现状与发展》的专题讲座,伟德国际bv1946相关专业教师、部分研究生和本科生到场学习。

      讲座中,李志松教授紧扣集成电路制造与先进封装对精密量测的迫切需求系统阐述了半导体精密量测作为支撑芯片制造良率提升与工艺闭环控制关键技术的核心价值。他从全球半导体设备市场出发,分析了精密量测在工艺监控、缺陷检测中的重要作用。详细介绍了团队在三维形貌检测、薄膜厚度与光学常数测量、微纳结构测量等方向的技术突破,深入讲解了白光干涉、激光干涉、魔镜缺陷检测等核心技术的原理与创新算法。

本次讲座兼具学术前沿性与实践指导性,精准契合了集成电路装备国产化bevictor1946韦德官网代与智能制造学科交叉融合的发展趋势。同时,李志松教授结合自身团队在科研项目攻关、校企合作及人才培养方面的丰富案例,深入浅出地分享了从算法研究到装备落地的全链条研发经验,使参会人员对高端光学量测装备的技术壁垒、研发流程及应用前景有了系统而清晰的认识。参会教师纷纷表示,讲座内容翔实、案例生动,有效提升了在光电检测、精密仪器及半导体制造等方向的学术视野,为后续开展相关领域研究提供了新思路和新方法。

此次讲座由科技处统筹组织、伟德国际bv1946协办,提升师生在高端制造与精密检测领域的学术视野对推动电子信息学科建设、提升师生科研创新能力具有积极意义。




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